競輪（公益財団法人JKA）補助事業により試験設備を導入しました

走査型電子顕微鏡

日本電子株式会社　JSM-IT510LV​

　走査型電子顕微鏡（SEM）は、高い分解能と深い焦点深度を活かし、機械・金属分野や材料・化学分野をはじめ幅広い分野で活用されています。
(1)表面観察・構造解析
　・微細な凹凸や表面の質感の観察
　・粒子径や孔径、微小繊維の測定
(2)不具合調査・品質管理
　・機械部品が壊れた際の破面観察
　・電子部品の微細な回路パターンの確認
(3)元素分析
　・合金元素の確認
　・元素の分布状態の可視化
　・異物の成分の特定​​

[走査型電子顕微鏡(SEM)]
・倍　率：5～300,000倍
・分解能：高真空モード：3.0nm(30kV)、　15.0nm(1.0kV)
　　　　　低真空モード：4.0nm(30kV BED)
・加速電圧：0.3～30kV
・低真空圧力設定範囲：10～200Pa
・最大試料寸法：200mm径×80mm高さ

[エネルギー分散型X線分析装置(EDS)]
オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
AZtecLive Advanced Ultim Max Infinity 40
・検出可能元素：Be～Cf
・エネルギー分解能：127eV以下

依頼試験や機器貸付、研究開発にご利用いただけます。​

令和７年度

工業技術総合研究所