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超精密表面粗さ測定装置
| 型式 | フォームタリサーフPGI430 |
|---|---|
| 製造者 | アメテック(株) |
| 用途 | 表面粗さの測定 |
| 仕様 | ＜水平方向＞ 駆動距離 最大120mm 測定速度 0.25mm/s 0.5mm/s 1mm/s 最大データポイント 960,000ポイント ＜垂直方向＞ 測定レンジ4mm（60mmスタイラス使用時） 分解能0.8nm＠4mmレンジ ゲージレンジと分解能比5,000,000:1 先端半径、2μmＲ円錐ダイヤモンドスタイラス、スタイラス荷重 0.3～1mN(100mgf） ＜システムパフォーマンス＞ 形状エラー 0.15μm以下/4mm測定レンジ システムノイズ(Rq)2nm ※ 本測定機は、公益財団法人JKAの機械工業振興補助事業の一環として導入されました。 |
| 貸付名称 | 形状粗さ測定機 |
| 貸付料金（1時間） | 1,840 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。） |
| 導入年月 | 2014/01 |
| 設置機関 | |
| 分類 | 機械的測定 |
