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走査電子顕微鏡
| 型式 | JSM-6510LV |
|---|---|
| 製造者 | 日本電子(株) |
| 用途 | 試料に電子線を照射して、金属部品や電子部品などの表面の微小な構造を鮮明に観察する。低真空観察や付属するエネルギー分散型X線分析装置（EDS）により，元素（Be～U）分析や簡易な定量分析ができる。 |
| 仕様 | 分解能 高真空モード 3nm（30kV），8nm（3kV），15nm（1kV） 低真空モード 4nm（30kV） 倍率 5～300,000倍 加速電圧 0.3～30kV 画像モード 二次電子像，反射電子像 試料台 φ10mm，φ32mm，φ76mm 試料ステージ稼働範囲 X: 80 mm、Y: 40 mm、Z: 10 mm～48 mm、 傾斜: －10°～＋90°、回転: 360° 低真空圧力 10～270Pa（低真空観察時） 元素分析 付属のエネルギー分散型X線分析装置（JED-2300）による定性、簡易定量 ※USBメモリは使用禁止です。試験データを持ち出す際は、CD-Rをご用意下さい。 |
| 貸付名称 | 走査型電子顕微鏡 |
| 貸付料金（1時間） | 2,160 円／時間（県外居住者の場合、５割加算となります。） |
| 導入年月 | 2010/03 |
| 設置機関 | |
| 分類 | 光学的測定 |
