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走査型電子顕微鏡
型式 | JSM-IT500LA |
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製造者 | 日本電子(株) |
用途 | 走査型電子顕微鏡は、電子線を観察対象試料に照射し、放出される二次電子・反射電子を検出して、高倍率での観察が可能な顕微鏡です。特に低真空モードにより、帯電しやすい絶縁試料を導電処理なしで観察分析ができます。光学像と電子顕微鏡画像が連動する機能があり、光学像で観察位置を確認し、拡大すると高倍率の電子顕微鏡像となる機能があります。また試料から放出される特性X線を検出するX線分析装置が附属しており、観察部位の元素分析が可能です。 |
仕様 | 【SEM(走査電子顕微鏡)】 ・倍 率:5~300,000倍 ・分解能:高真空モード:3.0nm(30kV) 15.0nm(1.0kV) 低真空モード:4.0nm(30kV BED) ・加速電圧:0.3~30kV ・低真空圧力設定範囲:10~650Pa ・最大試料寸法:200mm径×80mm高さ 【EDS(エネルギー分散型X線分析装置)】 ・検出可能元素:Be~U ・エネルギー分解能:129eV以下 ・検出器:SDDタイプ |
貸付名称 | 走査型電子顕微鏡 |
貸付料金(1時間) | 2,160 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。) |
導入年月 | 2019/01 |
設置機関 | |
分類 | 光学的測定 |
