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走査型電子顕微鏡

印刷 文字を大きくして印刷 ページ番号:0680234 更新日:2025年4月1日更新
型式 JSM-IT500LA
製造者 日本電子(株)
用途 走査型電子顕微鏡は、電子線を観察対象試料に照射し、放出される二次電子・反射電子を検出して、高倍率での観察が可能な顕微鏡です。特に低真空モードにより、帯電しやすい絶縁試料を導電処理なしで観察分析ができます。光学像と電子顕微鏡画像が連動する機能があり、光学像で観察位置を確認し、拡大すると高倍率の電子顕微鏡像となる機能があります。また試料から放出される特性X線を検出するX線分析装置が附属しており、観察部位の元素分析が可能です。
仕様 【SEM(走査電子顕微鏡)】
・倍 率:5~300,000倍
・分解能:高真空モード:3.0nm(30kV) 15.0nm(1.0kV)
     低真空モード:4.0nm(30kV BED)
・加速電圧:0.3~30kV
・低真空圧力設定範囲:10~650Pa
・最大試料寸法:200mm径×80mm高さ
【EDS(エネルギー分散型X線分析装置)】
・検出可能元素:Be~U
・エネルギー分解能:129eV以下
・検出器:SDDタイプ
貸付名称 走査型電子顕微鏡
貸付料金(1時間) 2,160 円/時間(県外居住者の場合、5割加算となります。)
導入年月 2019/01
設置機関

中越技術支援センター

分類 光学的測定
走査型電子顕微鏡
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